硅片邊緣曝光設備被動式空氣彈簧作為工業生產中的一種重要減震器，其主要的作用在于控制生產過程中各部構件配合產生的噪音以及異常振動，能顯著提高設備的使用壽命、使用者的體驗性和生產過程的穩定性。目前，被動式空氣彈簧和主動空氣彈簧已經成為了工業活動的重要部件。
主要區別就在于其工程控制對象的不同。硅片邊緣曝光設備被動式空氣彈簧的工作原理是控制振動源，使得振動源無法將振動傳導到其他工業設備中，起到減震隔振的作用。而主動空氣彈簧的工作原理是保護受振動部件，使得受保護部件不會受到外來的振動源的影響。但是，主動空氣彈簧不會像被動式空氣彈簧那樣控制振動源的影響。因此，如果振動源能夠影響多個部件，則被動式空氣彈簧更加適合該工業生產過程。
有哪些特性
兩個重要特性就是其設計方案的精密性和組裝步驟的便捷性。通常能夠被廣泛運用在不同的設備中，具備良好的適應性。一些使用了高純度石墨復合型橡膠的密封件的被動式空氣彈簧，可以在出現氣體泄漏之后持續工作一段時間，該特性提高了在檢修方面的開放性。
 綜上，被動式空氣彈簧在工業設備中具有廣泛的應用性，根據隔振對象、彈簧材料和工藝的不同，其性價比也就不同，需要在市場上與同類產品進行充分比較，才能選出能滿足需求的產品。